MEMS Design, Fabrication, Characterization, and Packaging

Մատենագիտական մանրամասներ
Այլ հեղինակներ: Behringer, Uwe
Ձևաչափ: Էլեկտրոնային էլ․ գիրք
Լեզու:անգլերեն
Հրապարակվել է: SPIE Digital Library, 4/30/01
Խորագրեր:
Առցանց հասանելիություն:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)

Նմանատիպ նյութեր