Device and Process Technologies for MEMS and Microelectronics II

Sonraí bibleagrafaíochta
Rannpháirtithe: Chiao, Jung-Chih
Formáid: Leictreonach Ríomhleabhar
Teanga:Béarla
Foilsithe / Cruthaithe: SPIE Digital Library, 11/21/01
Ábhair:
Rochtain ar líne:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)

Míreanna comhchosúla