Device and Process Technologies for MEMS and Microelectronics II

Номзүйн дэлгэрэнгүй
Бусад зохиолчид: Chiao, Jung-Chih
Формат: Цахим Цахим ном
Хэл сонгох:англи
Хэвлэсэн: SPIE Digital Library, 11/21/01
Нөхцлүүд:
Онлайн хандалт:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)

Ижил төстэй зүйлс