ICO20: MEMS, MOEMS, and NEMS

Detalhes bibliográficos
Outros Autores: Esashi, Masayoshi
Formato: Recurso Electrónico livro electrónico
Idioma:inglês
Publicado em: SPIE Digital Library, 1/18/06
Assuntos:
Acesso em linha:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)

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