Metallization: Performance and Reliability Issues for VLSI and ULSI

Détails bibliographiques
Autres auteurs: Gildenblat, Gennady
Format: Électronique eBook
Langue:anglais
Publié: SPIE Digital Library, 12/1/91
Sujets:
Accès en ligne:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)

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